曦问。

“我是这样想的5英寸生产线最早是在上世纪80年代初就出现了，距今已经过去20来年了，国内在92年引进5英寸的芯片生产线，关于该生产线无论是资料还是实物，国内都有一定的研究，国外的资料很多也是公开的，现在无非就是制造技术上跟不上。”赵小匠继续解释道。

“对，对，这事我有印象前几天刘明元教授还来找过我，他说第一条5英寸的生产线就落户在江城，江城的不少高校和科研机构都有相关的资料，还表示最近联系到不少的参与该生产线研究的专家，建议我们可以组织一个芯片生产线协会，把这些专家给集中起来。”王曦道。

“王姐看来下了不少功夫啊，我也是这个意思，咱们引进5英寸的生产线就是建立在江城有5英寸生产线的底子上，所以刘明元教授的提议我是支持的，具体方案王姐你定一下就好。”赵小匠道。

说起来江城也是国内集成电路公司发展的中心，90年代相继兴建了国内第一条5英寸，6英寸，8英寸的生产线，诞生了国内最知道的芯片公司夏虹，夏芯。

“匠哥，莫非你这次去计量院就是解决光刻机的问题？”王曦反应了过来。

“对了，如果咱们要实现200纳米的光刻机生产，第一要克服33%法则，即光刻机的套刻精度要达到66纳米，这一点即便咱们之前开发超精密机床也不到达到，第二就是要实现套刻的精度还得提高光刻机掩膜台的高精度定位，所以最终的精度还得再提到套刻精度的1/3，也就实际的精度为13纳米，设备的精度与制程的精度相差整整15倍。

这次我从计量院搞到了精度在10纳米左右的超高精度的激光干涉仪设计方案，只要我们能将设计变为现实，这光刻机就指日可待了！”赵小匠道。

“搞了半天，咱们又回到了开发仪器上。”王曦道。

赵小匠点了点头。
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